A02052402真空应用设备

中山大学绿色化学与分子工程研究院拟采购超高真空磁控溅射系统1套。 技术要求： 1、设备包含进样室和沉积室，沉积室可安装不少于8个2英寸的溅射靶实现共沉积，沉积室极限真空优于5×10^-6Pa；进样室极限真空优于6.7×10^-5Pa，可存储不少于4个4寸样品 2、样品架最高加热温度不低于800 ℃ ，能够在水平面内实现 360 度自转，转速不小于 20 RPM 3、沉积室配置不少于6个2寸靶，其中至少有2个强磁靶；靶枪与样品台距离的调节范围不低于10 cm； 4、溅射电源：直流电源数量2个，可同时连接≧4个靶枪，功率不小于500w；射频电源数量1个，可同时连接≧1个靶枪，功率不小于500w 5、最大样品尺寸: 4英寸； 6、沉积的均匀性优于±2.5% (4寸范围，100nm涂层)，可用于制备巨磁阻传感器，中间3英寸区域的[Py(1.5？nm)/Cu(2.3？nm)]30/Py(1.5？nm)]多层薄膜的GMR值优于10% 7、相同程序，沉积涂层的厚度误差不超过±2%； 8、至少可以存储30个镀膜程序，并可以加密保护； 9、三路工艺气体：氩气，氮气，氧气， 10、样品室具有样品预加热脱水气功能，预加热温度不低于500 oC 11、沉积室漏气率低于6.7×10^-7 Pa，停泵24小时后，腔室压力不高于5Pa；样品室的漏气率低于6.7×10^-7 Pa，停泵24小时后，腔室压力不高于5Pa。 12、沉积室破空后再抽真空，30 min 达到1×10^-4 Pa以上真空度；样品室破空后再抽真空，30 min 能到达5×10^-4 Pa 以上真空度。 交付时间要求：不超过8个月。交货时间为合同签订后8个月内。 交付地点要求: 送货到中山大学的指定位置，免费安装、调试。 售后服务要求：自仪器安装、调试、验收通过之日起免费保修1年，整机保修，免费项目包括人工费用、检修更换的标准品、易损件以及耗材费用。维修响应时间≤2小时，到现场维修时间≤24小时。软件及数据库终身免费维护及升级。现场培训不少于2人次，以达到独立操作为标准。

欢迎供应商提前参与该项目的购前调查，以便采购人更好地了解贵公司和相关产品与服务的优势。请复制以下链接，用浏览器粘贴打开调查页面。https://survey.choicelink.cn/sysu/PurchaseIntention?id=c6397ecb603e4444b5f4c8b0f9d603d4&tenant=2198&token=1