磁控溅射沉积系统
· 2022-09-06
| 磁控溅射沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2022年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射沉积系统 |
| 预算金额： | 255.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100607 真空检测仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 主泵采用抽速≥780 L/S的分子泵，系统的极限压强≤5*10-7Torr；2. 主真空室配有全量程真空计，测量范围为大气至1*10-9Torr，自动量程切换。3. 4套溅射靶枪，其中3套3英寸标准磁场靶枪，1套3英寸强磁场靶枪。靶枪最低工作压强≤0.7mTorr。
4.包含功率最大可达到300W的射频电源，包含功率最大可达到600W的射频电源，包含功率最大可达到1000W的直流电源，包含功率最大可达到2KW的脉冲直流电源。5. 6英寸硅片镀制150nm以上的Ti膜，均匀性小于+/-5%。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | 需求参数仅为参考，具体以实际招标文件为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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