集成电路学院真空磁控溅射设备采购
· 2022-10-10
| 集成电路学院真空磁控溅射设备采购 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 集成电路学院真空磁控溅射设备采购 |
| 预算金额： | 356.990000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 集成电路学院拟采购真空磁控溅射设备1套。主要技术指标：要求至少配备6支4英寸磁控溅射靶枪，靶枪表面可独立供气，并考虑靶枪表面气体分布情况，可实现低气压靶枪工作，要求每个靶枪配备独立的准直筒和挡板，用于约束镀膜束流；要求每个靶枪要求配备独立水流量监控，防止靶枪过热；要求配套有2个300W射频电源，2个500W直流电源；预留扩充多支靶枪的空间；要求可实现至少8英寸样品镀膜，样品台可最高可加热至800°C，控温精度±1 °C，可实现5至20 rpm自动360度旋转；要求真空抽气系统为前级泵和分子泵组合，分子泵抽速要求至少430l/s，抽速至少520l/min；可全自动抽气。交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。交付地点：中山大学深圳校区理学园。售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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