其他专用仪器仪表

一、 项目名称：多靶共溅射磁控溅射镀膜设备 二、采购标的需实现的主要功能或者目标 设备主要由两个溅射真空室、一个进样室、磁控溅射靶、旋转加热基片台、加热系统、直流电源、射频电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜、介质膜等的制备。 该设备为2个磁控溅射系统的复合设备，使用一个进样室连接2个磁控溅射室，进样室可以放置5片4英寸样品或5片30mm样品，通过两个手动磁力传递杆取放样品实现进样室和2个磁控溅射室样品的互相传递。 三、采购数量 1套 四、质量、服务、安全、时限等要求 （1）成交价：人民币（国产设备）。 （2）交货时间：合同签订后两个月（国产设备）。 （3）付款方式: 货到验收合格后支付（国产设备）。 （4）安装验收: A. 设备验收由专家组和中标人联合在山东大学进行，验收条件按照合同规定执行。验收合格后填写山东大学贵重仪器设备验收记录表，该验收单作为支付中标人货款的依据。 B. 对安装有特殊要求的设备，中标人应在合同签订后10个工作日内以书面形式向用户提出安装场地环境要求，用户负责如电源、地线、温度和湿度设备、静电和防尘设备等安装场地的准备。 C. 中标人应提供各种文档资料和中文电子版说明书以及调试仪器所需要的工具。 D. 中标人派专门人员将仪器安装并调试好，达到说明书技术指标的要求。 （5）培训： A. 中标人应对用户人员进行技术培训。使其能掌握有关设备的使用、维护和管理等工作要求。 B. 及时提供相关领域新技术与新信息，终生免费提供相关实验室技术咨询。 （6）保修与维修： A. 保修期1年。 B. 中标人应在验收合格之日起到保修期满前一个月内，进行一次现场全面免费检查，并写出正式报告。如发现问题应负责解决。 C. 中标人需提供负责售后服务的部门或单位的名称和联系方式。维修响应一般情况下4—8小时，终身维修。一般问题应在1周内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在1月内解决或提出明确解决方案，否则中标人应赔偿相应损失。 D. 中标人应定期回访用户。 E. 投标人必须列明保修期后的各项收费标准，需购买的附件和零配件的价格应按主机合同的折扣率给予优惠。 F. 仪器中的软件享受终身免费升级；