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程鑫老师课题组磁控溅射阴极、直流和射频电源等采购采购公告

· 2025-09-29
项目名称 程鑫老师课题组磁控溅射阴极、直流和射频电源等采购
项目编号 SUSTech-JC-2025-00281
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
采购方式 公开竞采
公告开始时间 2025-09-29 08:59:25
公告结束时间 2025-10-13 08:59:25
预算(元) 800000.00
项目预算是否含税 进口免税
备注



序号 名称 数量 单位

1

射频电源

1

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1输出功率范围:10-2000W
1.2输出频率:13.56MHz
1.3输入电压: 200-480V
1.4 阻抗:50Ω
1.5 频率精度:13,56 MHz ±0,005%
1.6 输出功率精度:±1W(数字控制)±2W模拟量
1.7 抑弧功能,减少打弧,提升膜层性能
1.8 RF输出:HN female connector. 7/16 socket
1.9 Arc detection :< 3 μs
1.10通讯接口:□ Profibus.
□ EtherCAT.
□ DeviceNet.
□ Matchbox.

质保期

质保一年

售后要求

保修期届满后,乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。保修期届满后,合同货物需要更换零部件的,乙方只收取零部件的成本费,不收人工服务费用。

2

直流脉冲电源

1

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

2.1功率:1KW
2.2输出电压:1000V
2.3输出电流:3.3A
2.4输出频率:0-150KHz
2.5精度:±1%
2.6通讯接口:
□Remote - RS-232
□Remote - RS-485
□Remote - Profibus
□Remote - USB
□Remote - DeviceNet
□Remote - EtherCAT
□Remote - ProfiNet

质保期

质保一年

售后要求

保修期届满后,乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。保修期届满后,合同货物需要更换零部件的,乙方只收取零部件的成本费,不收人工服务费用。

3

高能脉冲发生器

1

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

3.1 平均功率:2KW
3.2 脉冲最大输出功率:500K
脉冲最大输出电流:+/- 500 A (max.) ≤ 2 kHz;
+/- 250 A (max.) ≤ 12,5 kHz;+/- 150 A (max.) ≤ 25 kHz;+/- 75 A (max.) ≤ 50 kHz
3.3 脉冲导通时间:5&m


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