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12寸晶圆传送腔真空系统配件采购采购公告

· 2025-06-16
项目名称 12寸晶圆传送腔真空系统配件采购
项目编号 SUSTech-JC-2025-00144
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
采购方式 公开竞采
公告开始时间 2025-06-16 09:43:08
公告结束时间 2025-06-23 09:43:08
预算(元) 320000.00
项目预算是否含税 进口缴税
备注



序号 名称 数量 单位

1

真空计(核心货物)

4

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、测量原理:皮拉尼对流增强型
2、测量范围 (N2):1.3×10-4 … 1333 毫巴
3、精度 (N2):
1.3×10-4 … 1.3×10-3 毫巴 0.1×10-3 毫巴分辨率
1.3×10-3 … 530 毫巴 读数的 ±10%
530 … 1333 毫巴 读数的 ±2.5%
4、重复性 (N2):读数的±2%
5、工作环境温度:0 … +50℃
6、烘烤温度:≤150 ℃
7、灯丝:镀金钨 (W) 灯丝
8、法兰接口:DN25 ISO-KF

质保期

1年

售后要求

1、如所响应产品为进口需提供制造厂家授权文件。2、如货物出现损坏和故障,则供应商应在接到我方通知后 48 小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。

2

真空计

2

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、测量通道:3
2、压力显示:LED - 3个独立的压力显示通道
3、编程和设置屏幕:OLED
4、测量范围:1×10-11 … 1333 毫巴
5、测量单位:毫巴、托、帕
6、设定点继电器:6个单刀双掷继电器 (SPDT),用户可将其分配给任意真空计
7、触点额定值:30V(直流)时5A,250V(交流)时5A,电阻负载
8、模拟输出:离子表(BAG、MAG)、离子表与 PGE 组合、单 PGE
9、接口(数字):RS232, RS485
10、电源电压(外部):+20 … +28V (直流)
12、操作温度:+0 … +40℃

质保期

1年

售后要求

1、如所响应产品为进口需提供制造厂家授权文件。2、如货物出现损坏和故障,则供应商应在接到我方通知后 48 小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。

3

电源

2

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

电压220V

质保期

1年

售后要求

1、如所响应产品为进口需提供制造厂家授权文件。2、如货物出现损坏和故障,则供应商应在接到我方通知后 48 小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。

4

数据线

2

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌


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