ald原子层沉积系统
· 2024-05-09
| 申购单号： | CB105902024000464 | 签约时间： | 发布竞价结果后7天内签约合同 |
| 申购主题： | ALD原子层沉积系统 | 送货时间： | 合同签订后7天内送达 |
| 采购单位： | 深圳大学 | 安装要求： | 免费上门安装（含材料费） |
| 报价要求： | A | 收货地址： | 广东省/深圳市/南山区/**** |
| 发票类型： | 增值税专用发票 | 币种： | 人民币 |
| 预算： | 199980.0 | 付款方式： | 货到验收合格后付款 |
| 备注说明： |
| 采购内容 | 数量 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | |
| ALD原子层沉积系统 | 1.0套 | 199980.0 | 普迪真空 | ALD-T100Q | 1、真空腔室优质 304 不锈钢真空室，尺寸约为 300mm（宽） × 300mm（深） × 380mm（高）最终以实际设计尺寸为准，内外部电抛光处理；2、高真空泵：脂润滑分子泵；型号：北京中科科仪 150/700,抽速：700L/S；3、高阀及限流阀：高真空插板阀；可控限流阀，可控制腔室压力；4、机械泵：鲍斯真空 BSV24 直联旋片式真空泵（单相），抽速：约 6L/S；5、真空测量：两低一高数显复合真空计；6、电控气动粗抽阀、前级阀，电磁放气阀、充气阀；7、两路进气，采用 Horiba Metron 流量计控制进气，流量计最大流量分别为200/5sccm，2 路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光 EP 管及 VCR 接头混合后导入真空室前方靶面进气；8、1 台 500W 直流电源；1 个凡谷电子自动匹配射频电源，最大输出功率 750W；9、100*100MM 偏压工件台，转速 0-25RPM 可调节；10、控制系统采用德国西门子 PLC+德国西门子触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面。 | 按行业标准提供服务 |
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